El tratamiento y manipulación del SF₆ se recoge en la recomendación CEI-1634, atendiendo a la prevención de asfixia del personal, la degradación del gas en ácido fluorhídrico (y sulfuro de tionilo) y la prevención de contaminación por aire (y vapor de agua). Todas las técnicas de análisis de SF6 son muy recientes, a pesar de que este gas viene aplicándose como aislamiento de equipos eléctricos de alta tensión desde hace mucho tiempo. 

• Medida de Degradación. Basada en medida de la concentración de HF (PPM ácido fluorhídrico) en una célula electroquímica de difusión.
  
• Medida de Contaminación. Basada en medida de la pureza de oxígeno (PPM) o en el punto de rocío (ºC) a una determinada presión.
  
• Detección de Fugas. Basada en la medida con sensores de efecto corona (PPM).